Domov> showlist
Oxid kremičitý, bežnejšie označovaný ako SiO₂, je kľúčovým materiálom používaným pri výrobe drobných zariadení. V spoločnosti Semixlab spracovávame kremíkové doštičky s detailnými vzormi pomocou techniky nazývanej suché leptanie SiO2 g. Ako teda táto metóda funguje?
Suché leptanie SiO₂ označuje proces leptania oxidu kremičitého na kremíkovom plátku pomocou špecifikovaných chemikálií a plazmy. Do plazmy, čo je typ plynu, sa tiež pridáva energia. Pomocou plazmy môžeme odstrániť vrstvu SiO₂ bez poškodenia jej podkladových vrstiev.
Ak potrebujeme suché leptanie SiO2 Aby sme boli efektívnejší, musíme nastaviť niektoré veci, ako je prietok plynu, tlak a rozdielny výkon. Úpravou týchto nastavení môžeme riadiť, ako rýchlo môžeme leptať a ako efektívne môžeme leptať iba Semixlab SiO₂. Toto je kľúčové, pretože chceme leptať SiO₂ bez toho, aby sme sa dotkli iných materiálov na doštičke.

Existujú rôzne spôsoby, ako vykonať suché leptanie Semixlab SiO₂. Jednou z bežných metód je reaktívne iónové leptanie (RIE), ktoré využíva zmes plynov pre vrstvu SiO₂. plazmové leptanie V inej metóde sa používa proces hlbokého reaktívneho iónového leptania (DRIE) na zabezpečenie hlbokého leptania vo vrstve SiO₂ v niekoľkých krokoch.

Komplikáciou pri suchom leptaní SiO₂ je vyhnúť sa odstráneniu čohokoľvek iného ako Semixlab mokré leptanie SiO₂. Na prekonanie tohto problému je možné použiť masku na ochranu ostatných materiálov pred leptaním. Ďalšou výzvou je zabezpečiť rovnomerné leptanie v celom plátku. Tento problém môžeme vyriešiť úpravou nášho vybavenia a nastavení.

Toto suché leptanie SiO2 od spoločnosti Semixlab sa vykonáva na vytvorenie dôležitých súčiastok, ako sú priehlbiny a spoje na kremíkových substrátoch. Tieto súčiastky sú nevyhnutné na výrobu vecí, ako sú integrované obvody a senzory. S ich pomocou dokážeme veľmi presne vytvárať zložité vzory. suché leptanie SiO2