Glass Carbon Coating

Sklovitý uhlíkový povlak sa zvyčajne používa, keď je čistota kritickejšia ako čokoľvek iné. Vytvára hladší a inertnejší povrch grafitu, čo pomáha znižovať tvorbu častíc počas prevádzky.

Uvidíte ho v aplikáciách, ako je rast kremíkových kryštálov, epitaxia alebo MOCVD susceptory. V niektorých prípadoch sa používa aj mimo polovodičov, napríklad v metalurgických nástrojoch.

Jeden zaujímavý prípad použitia sú systémy MBE. Vďaka svojmu vyššiemu elektrickému odporu môže pomôcť určitým komponentom dosiahnuť prevádzkovú teplotu efektívnejšie, niekedy bez potreby dodatočného chladenia. Nie je to najbežnejší povlak, ale v špecifických prostrediach – najmä tam, kde je prísna kontrola kontaminácie – môže byť praktickou možnosťou.