Kremenné diely

Kremeň je stále všadeprítomný v spracovaní polovodičov. Nie je nový, ale je spoľahlivý a väčšina tovární pozná jeho správanie. Pokiaľ je čistota kontrolovaná, funguje dobre v krokoch difúzie, oxidácie a čistenia.

Veľa kremenných súčiastok sa používa v peciach alebo nástrojoch PECVD. Hlavným očakávaním je stabilita – nie nevyhnutne dlhá životnosť, ale predvídateľný výkon. To zvyčajne postačuje pre mnohé štandardné procesy.

Kremeň má samozrejme svoje obmedzenia. Za určitých podmienok sa môže opotrebovať rýchlejšie, najmä v porovnaní s SiC. Ale keďže je relatívne ľahko dostupný a nie je príliš drahý, ľudia ho stále dosť často používajú.