Silikónové diely

Kremíkové súčiastky sa používajú hlavne preto, že zodpovedajú materiálu doštičky. Už len to ich robí užitočnými, pretože znižuje riziko nežiaducich rozdielov v procese. Bežne sa používajú v prostrediach leptania a nanášania. Výkon je vo všeobecnosti stabilný, hoci životnosť sa môže značne líšiť v závislosti od náročnosti procesu.

Vďaka lepšiemu obrábaniu a povrchovej úprave sa tieto diely časom zlepšili. Napriek tomu sa nevyberajú vždy pre odolnosť, ale skôr pre kompatibilitu a konzistentnosť procesu.