Pyrolytický grafitový (PG) povlak

Povlak PyC sa väčšinou používa v systémoch na rast kryštálov SiC, najmä v peciach PVT. Nejde o posúvanie teplotných limitov, ale skôr o zlepšenie správania grafitových súčiastok v priebehu času.

Povlak vytvára relatívne rovnomernú vrstvu na komponentoch, ako sú krúžky na usmernenie prúdenia alebo izolačné štruktúry. To pomáha znižovať prenikanie plynu a obmedzuje kontamináciu súvisiacu s uhlíkom, ktorá by inak mohla ovplyvniť prostredie rastu.

V praxi sú pravdepodobne najbežnejšie krúžky na usmernenie toku s povlakom PyC, ale rovnaká myšlienka platí aj pre podporné krúžky alebo tepelné štíty. Pre mnohých používateľov je cieľ jednoduchý – udržať systém stabilný počas dlhých cyklov, a nie sa naháňať za vyššou teplotnou odolnosťou.