Polovodičová kremenná doštičková loďka

Kremeňové lodičky Semixlab Semiconductor sú kľúčové ložiskové nástroje určené pre vysokoteplotné procesy, ako je difúzia, oxidácia, CVD, žíhanie atď. pri výrobe polovodičov. Sú vyrobené z vysoko čistého syntetického kremeňa s vynikajúcou odolnosťou voči vysokým teplotám, chemickou stabilitou a nízkym koeficientom tepelnej rozťažnosti, takže dokážu stabilne niesť lamely v náročných procesných prostrediach, čím zabezpečujú konzistentnosť procesu a výťažnosť produktu.

Použiteľné zariadenie: Kompatibilné so všetkými druhmi horizontálnych/vertikálnych difúznych pecí (horizontálna/vertikálna difúzna pec), systémom LPCVD a zariadeniami na rýchle tepelné spracovanie (RTP).

Zabezpečenie kvality

Prísna kontrola kvality: 100 % detekcia úniku pomocou hmotnostnej spektrometrie s héliom (rýchlosť úniku <1×10⁻⁹ mbar·L/s). Pre každú šaržu sa vydáva správa o čistote materiálu (test ICP-MS).

Certifikačné štandardy: V súlade so špecifikáciami SEMI F47, prostredníctvom certifikácie systému manažérstva kvality ISO 9001:2015.

Životnosť: priemerná životnosť za normálnych podmienok je viac ako 2 roky (v závislosti od frekvencie procesu a teplotných podmienok).

Prečo si vybrať náš kremenný čln?

Služby na mieru: Prispôsobená veľkosť a konštrukcia podľa modelu zariadenia (TEL, Kokusai, ASM atď.) a požiadaviek procesu.

Rýchla reakcia: Štandardná dodacia lehota je 3 týždne, urgentné objednávky je možné skrátiť na 10 pracovných dní.

Globálna servisná sieť: Poskytuje technické poradenstvo, pokyny k inštalácii a popredajnú údržbu. Špecifikácie materiálov.

Špecifikácia projektu

Syntéza materiálu Tavený kremeň

Čistota ≥99.99 % SiO₂

Kompatibilita veľkosti oblátok 8", 12" (možno prispôsobiť 6" alebo 18")

Prevádzková teplota ≤1200 °C (trvalá) / 1300 °C (špičková)

Súčiniteľ tepelnej rozťažnosti (CTE) 0.55 × 10⁻⁶/°C (20 – 1 000 °C)

Drsnosť povrchu (Ra) ≤0.2 μm

Štandardná kapacita 25/50/100 tabliet

Použiteľné procesné plyny O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl atď.

Oxidácia/difúzia pri vysokých teplotách: dopovanie kremíkom (difúzia fosforu, bóru), rast hradlového oxidu.

Nanášanie tenkých vrstiev: LPCVD polykryštalický kremík, nanášanie nitridu kremíka (Si₃N₄).

Proces žíhania: žíhanie po iónovej implantácii (RTA), legovanie kovov.

Polovodič tretej generácie: epitaxia karbidu kremíka (SiC), nitridu gália (GaN).

1. Vlastnosti materiálu

Kremeň s ultravysokou čistotou (> 99.99 % SiO₂): zabraňuje znečisteniu kovovými iónmi (Na+, K+, Fe³+ atď.) a spĺňa požiadavky na čistotu pre pokročilé procesy (uzly < 5 nm).

Odolnosť voči vysokým teplotám: trvalá prevádzková teplota 1200 °C, okamžitá teplotná odolnosť 1300 °C, žiadne riziko deformácie alebo kryštalizácie.

Chemická inertnosť: Odoláva procesným plynom ako HCl, H₂, O₂, SiH₄ a kyslému/alkalickému prostrediu. Nekorozívny pri dlhodobom používaní.

2. Presný dizajn

Optimalizujte štruktúru:

Presnosť rozstupu drážok je ±0.05 mm, čo zaisťuje presné umiestnenie doštičky (8/12 palca) a zabraňuje poškriabaniu alebo posunutiu.

Dizajn odolný voči tepelným nárazom, prispôsobený rýchlemu nárastu a poklesu (rýchlosť ohrevu ≤20°C/min).

Nízka tvorba častíc: Povrch je ultra presne leštený (Ra ≤ 0.2 μm), aby sa znížilo prichytávanie a odpadávanie častíc.

3. Diverzifikovaná konfigurácia

Voliteľná kapacita: Podpora 25 kusov, 50 kusov, 100 kusov a iných štandardných špecifikácií, je možné prispôsobiť aj neštandardné číslo slotu.

Úprava typu: Otvorený čln, uzavretý čln alebo špeciálny typ člna (napríklad návrh odklonového kanála na dne člna).

Q1: Môžete poskytnúť neštandardnú veľkosť alebo špeciálny dizajn?

A1: Semixlab podporuje zákazkové služby vrátane úpravy veľkosti, hornej hranice teploty (vyžaduje sa aktualizácia materiálu) alebo typu rozhrania. V prípade špecifických požiadaviek kontaktujte technický tím spoločnosti Semixlab.

Q2: Ako dlho je dodacia lehota?

A2: Dodacia lehota pre štandardné produkty je 4-6 týždňov a doba návrhu a overenia pre produkty na mieru je 2-3 týždne.

Q3: Poskytujete popredajnú technickú podporu?

A3: Áno, poskytujeme celoživotné technické poradenstvo a služby v oblasti núdzových situácií. V prípade problémov s inštaláciou alebo používaním je možné kedykoľvek kontaktovať tím podpory e-mailom alebo telefonicky.

Otázka 4: Spĺňa produkt štandardy polovodičového priemyslu?

A4: Áno, výrobný proces je v súlade s normami SEMI a je certifikovaný systémom riadenia kvality ISO 9001. Každá šarža je pred opustením továrne testovaná na vzduchotesnosť, teplotnú odolnosť a čistotu.