SiC keramika

SiC keramika sa čoraz viac používa v polovodičových zariadeniach, najmä preto, že lepšie odoláva náročnejším podmienkam. Keď teplota stúpne alebo sa proces stane agresívnejším, materiály ako kremeň alebo kremík môžu začať vykazovať svoje limity a práve tu zvyčajne prichádza na rad SiC. V procesoch v peci, ako je oxidácia alebo difúzia, majú súčiastky ako lodičky alebo lopatky vyrobené z SiC tendenciu vydržať dlhšie. Zachovávajú si tvar a neprinášajú veľa kontaminácie, a to ani po dlhých prevádzkach. Ľudia z tohto dôvodu často prechádzajú z kremeňa, najmä keď sa údržba stane príliš častou.

Na leptanie sa SiC často volí jednoducho preto, že dlhšie prežíva plazmu. Rozdiel v životnosti v porovnaní s kremíkovými súčiastkami je badateľný v mnohých nastaveniach, hoci stále závisí od presného procesu. Pomáha to tiež trochu s kontrolou častíc, ktorá sa stáva citlivejšou so zmenšovaním uzlov. SiC sa tiež používa ako susceptory v MOCVD alebo CVD. V týchto prípadoch nejde ani tak o „pevnosť“, ako skôr o udržiavanie stabilného teplotného správania. Okrem toho sa objavuje v častiach komory, ako sú vložky alebo sprchové hlavice, a niekedy aj v manipulačných súčiastkach.