Kremeňový disk pre polovodičový proces

Polovodičový priemysel vyžaduje komponenty s výnimočnou čistotou a presnosťou. Kremeňové disky sú v tejto oblasti základným kameňom a zohrávajú kľúčovú úlohu v rôznych vysokoteplotných a chemicky náročných procesoch výroby polovodičov. Kremeňový disk Semixlab pre polovodičový proces je vyrobený z vysoko čistého syntetického taveného oxidu kremičitého (SiO2), aby poskytoval výnimočnú tepelnú stabilitu, chemickú odolnosť a ultranízku kontamináciu. Tieto polovodičové kremeňové disky sa používajú pri nanášaní tenkých vrstiev CVD, ALD, PVD naprašovaní, difúzii/žíhaní, RTP, plazmovom leptaní (RIE/ICP).

Vlastnosti a vlastnosti materiálu

Naše polovodičové kremenné disky sú vyrobené z vysoko čistého taveného kremeňa, materiálu známeho svojimi výnimočnými vlastnosťami. Medzi kľúčové vlastnosti našich kremenných diskov patria:

● Vysoká čistota: Naše kremenné disky obsahujú minimálne nečistoty a zabraňujú kontaminácii citlivých polovodičových doštičiek, čo je nevyhnutné pre zachovanie integrity a výťažnosti zariadenia.

● Vynikajúca tepelná stabilita: Vďaka nízkemu koeficientu tepelnej rozťažnosti dokážu kremenné disky odolávať extrémnym teplotným výkyvom bez praskania alebo deformácie. Vďaka tomu sú ideálne pre vysokoteplotné procesy, ako je žíhanie, difúzia a oxidácia.

● Chemická inertnosť: Kremeň je vysoko odolný voči väčšine kyselín a chemikálií používaných pri spracovaní polovodičov, vrátane kyseliny fluorovodíkovej (HF) a kyseliny sírovej (H2SO4). Táto chemická inertnosť zaisťuje stabilné a nereaktívne prostredie pre doštičky.

● Vysoká transparentnosť: Tavený kremeň má vysokú priehľadnosť pre ultrafialové (UV) svetlo, čo je kľúčové pre fotolitografiu a iné optické procesy.

Naše kremenné disky sú dostupné v rôznych veľkostiach a hrúbkach s typickými parametrami vrátane:

● Čistota: > 99.995 %

● Koeficient tepelnej rozťažnosti: ~0.54 x 10−6/°C (pri 20 – 300 °C)

● Bod mäknutia: ~1600 °C

● Dostupné priemery: do 300 mm

Aplikácie vo výrobe polovodičov

Vysoko čisté kremenné disky sú nevyhnutné v niekoľkých kľúčových polovodičových procesoch. Medzi ich špecifické aplikácie patrí:

● CVD (chemické nanášanie z pár): Kremenné disky sa používajú ako susceptorové dosky alebo vložky v CVD reaktoroch. Ich tepelná stabilita a chemická inertnosť zabezpečujú rovnomerné zahrievanie a prostredie bez kontaminácie pre procesy nanášania tenkých vrstiev.

● PVD (fyzikálne nanášanie z pár): V PVD procesoch, ako je naprašovanie, slúžia kremenné disky ako podložky pre terče alebo držiaky substrátov. Dokážu odolať vysokej kinetickej energii procesu nanášania a zároveň si zachovať rozmerovú stabilitu.

● Oxidácia a difúzia: Kremenné disky sú neoddeliteľnou súčasťou vysokoteplotných oxidačných a difúznych procesov ako vložka do pecí alebo ako súčasť lodičiek na kremíkové doštičky. Zabraňujú kontaminácii kovov zo stien pece, aby sa dostala na kremíkové doštičky.

● Žíhanie: Kremenné disky poskytujú čistý a stabilný povrch pre tepelné žíhanie, proces používaný na opravu poškodenia kryštálovej mriežky a aktiváciu dopantov v polovodičových zariadeniach.

Výhody Semixlabu: Váš partner vo výrobe polovodičov

V spoločnosti Semixlab sme viac než len výrobca polovodičových kremenných diskov. Sme partnerom oddaným vášmu úspechu a ponúkame súbor služieb navrhnutých tak, aby zefektívnili vaše operácie a zvýšili efektivitu vašich procesov.

● Prispôsobenie: Chápeme, že každý výrobný proces je jedinečný. Náš tím dokáže vyrobiť kremenné disky na mieru prispôsobené vašim špecifickým požiadavkám na rozmery, čistotu alebo použitie.

● Technická konzultácia: Naši technickí experti poskytujú hĺbkové konzultácie, ktoré vám pomôžu vybrať ideálny kremenný produkt pre váš konkrétny proces a zabezpečia optimálny výkon a dlhú životnosť.

● Rýchle prototypovanie a vzorová služba: Ponúkame rýchle dodacie lehoty pre prototypy a vzorky, čo vám umožňuje rýchlo a efektívne testovať a overovať naše produkty. To urýchľuje vaše cykly výskumu a vývoja a skracuje čas uvedenia na trh.

Pre procesných inžinierov a kupujúcich, ktorí hľadajú spoľahlivé nosné dosky, izolačné štíty a optické podpery, spoločnosť Semixlab poskytuje kremenné disky s vysokou toleranciou a nízkym obsahom chýb, ktoré zlepšujú výťažnosť a predlžujú prevádzkyschopnosť nástrojov. Úprimne sa tešíme, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.