Nosič lode z kremenných doštičiek

Podpera kremenných lodičiek Semixlab je vysoko výkonný nosič určený pre polovodičový, fotovoltaický, LED a presný elektronický priemysel. Je vyrobená z vysoko čistého syntetického kremenného materiálu. Podpery kremenných lodičiek sa ako hlavný spotrebný materiál vo vysokoteplotných procesoch stali ideálnymi nosičmi pre kremíkové doštičky, kremíkové doštičky, sklenené substráty a ďalšie presné komponenty v difúzii, žíhaní, oxidácii, CVD (chemické nanášanie z pár) a iných procesoch vďaka svojej vynikajúcej tepelnej stabilite, chemickej inertnosti a mimoriadne dlhej životnosti, čo pomáha zákazníkom dosiahnuť efektívne a stabilné výrobné procesy.

Aplikačné scenáre alebo zariadenia: 

Difúzia, žíhanie, oxidácia a proces CVD (chemické nanášanie z plynnej fázy) polovodičových materiálov.

Sila spoločnosti

Spoločnosť Semixlab Technology Co., Ltd. má 2 centrá výskumu a vývoja, 2 výrobné základne, 12 výrobných liniek, viac ako 150 zamestnancov a investície do výskumu a vývoja predstavujú viac ako 30 %. Naše produktové rozloženie sa používa hlavne v oblasti LED, integrovaných obvodov, polovodičov tretej generácie, fotovoltaiky a ďalších odvetví. Semixlab má silné možnosti výskumu a vývoja, výroby a integrovaného testovania a overovania. Zároveň neustále vylepšujeme naše technológie a zariadenia investíciami desiatok miliónov ročne.

Prispôsobené služby

Aby sme splnili rozmanité potreby, poskytujeme flexibilné služby prispôsobenia a podporujeme nasledujúce úpravy parametrov:

Špecifikácie veľkosti: Prispôsobte sa rôznym substrátom, ako napríklad 8 palcov a 12 palcov, alebo prispôsobte špeciálne tvarované konštrukcie podľa výkresov zákazníka.

Povrchová úprava: Voliteľné pieskovanie, povrchová úprava (napríklad karbidom kremíka) a ďalšie procesy na zvýšenie použiteľnosti v špecifických scenároch.

Integrácia príslušenstva: Možno kombinovať s kremennými stĺpikmi, prepážkami a ďalšími komponentmi a vytvoriť tak kompletný nosný systém.

Systém zabezpečenia kvality

Testovanie surovín: Dovážaný kremenný piesok s vysokou čistotou, analyzovaný metódou ICP-MS (hmotnostná spektrometria s indukčne viazanou plazmou).

Riadenie procesu: presné CNC obrábanie + automatizované testovanie, tolerancia kľúčového rozmeru ≤±0.05 mm.

Čisté balenie: Ultra čisté balenie triedy 100, aby sa zabránilo kontaminácii počas prepravy.

Typické scenáre aplikácie

Výroba polovodičov: používa sa na vysokoteplotné žíhanie, oxidáciu a procesy nanášania tenkých vrstiev na doštičky v difúznych peciach a vertikálnych peciach.

Fotovoltaický priemysel: Prenášanie a prenos PERC a TOPCon článkov v PECVD, difúzia fosforu a ďalšie procesy.

LED epitaxia: Presné polohovanie a vysokoteplotný epitaxný rast zafírových substrátov v MOCVD zariadení.

Oblasť výskumu: Spekanie a testovanie materiálov v laboratórnych vysokoteplotných peciach a vákuovom prostredí.

1. Vynikajúca odolnosť voči vysokým teplotám

Kremeňová podpera pre lode dokáže dlhodobo odolávať vysokým teplotám nad 1200 ℃ s extrémne nízkym koeficientom tepelnej rozťažnosti (približne 5.5 × 10⁻⁷/℃). Dokáže si zachovať štrukturálnu stabilitu aj pri rýchlom ochladzovaní a zahrievaní, čím sa zabráni praskaniu alebo deformácii spôsobenej tepelným namáhaním a zabezpečí sa opakovateľnosť procesu.

2. Ultra vysoká čistota a chemická inertnosť

Vyrobené z 99.99 % alebo viac vysoko čistého kremenného piesku, bez zrážok, bez znečistenia, účinne zabraňuje kontaminácii povrchu doštičky kovovými iónmi alebo časticovými nečistotami pri vysokej teplote, obzvlášť vhodné pre pokročilé procesy s prísnymi požiadavkami na čistotu (ako je výroba čipov pod 7 nm).

3. Presný konštrukčný návrh

Povrch podpery lode je leštený s vysokou presnosťou (drsnosť Ra ≤ 0.2 μm) a je vybavený patentovanou štrbinovou štruktúrou, ktorá dokáže stabilne niesť substráty rôznych veľkostí (napríklad 8/12-palcové doštičky), čím zabezpečuje rovnomerné zahrievanie a cirkuláciu plynu a zlepšuje rovnomernosť procesu.

4. Ultra dlhá životnosť

V porovnaní s tradičnými grafitovými alebo keramickými nosičmi majú kremenné materiály silnú odolnosť proti korózii, nízku mieru strát v kyslom/alkalickom prostredí a cyklus nepretržitého používania môže dosiahnuť 12 – 24 mesiacov, čo výrazne znižuje komplexné náklady zákazníkov.