Loď z kremenného plátku s vysokou čistotou

Vysoko čistá kremenná lodička je vyrobená zo syntetického kremenného piesku oblúkovým tavením, ktorý má veľmi nízky koeficient tepelnej rozťažnosti a vynikajúcu odolnosť voči tepelným šokom, aby sa zabezpečilo, že pri rýchlom stúpaní a klesaní nehrozí riziko deformácie alebo praskania. Povrch je precízne leštený, aby sa znížilo znečistenie časticami, a je vhodný pre drsné a čisté prostredie pri výrobe polovodičov. Produkt podporuje prispôsobenú veľkosť (dĺžka 100 – 500 mm, počet drážok 2 – 24) a prispôsobuje sa rôznym veľkostiam doštičiek (4 – 12").

1. Charakteristiky materiálu jadra

Proces oblúkového tavenia syntetického kremenného piesku

Použitím ultra čistého kremenného piesku (čistota SiO₂ ≥99.999 %) sa pomocou technológie oblúkového tavenia vytvára amorfná štruktúra kremenného skla. Tento proces eliminuje chyby na hraniciach zŕn, výrazne zlepšuje rovnomernosť materiálu a zaisťuje, že lodičky zostanú stabilné aj pri vysokých teplotách (≤1250 °C).

Ultra nízky koeficient tepelnej rozťažnosti

Faktor tepelnej rozťažnosti je len 5.5 × 10^-7K^-1(20 – 300 °C), čo umožňuje takmer žiadnu zmenu veľkosti počas rýchleho nárastu a poklesu teploty (napr. 200 °C/min v polovodičových procesoch), čím sa zabráni mikrotrhlinám alebo deformácii v dôsledku tepelného namáhania.

Optimalizácia odolnosti voči tepelným šokom

Vďaka procesu gradientného žíhania môže teplotný rozdiel tolerancie tepelného šoku dosiahnuť 1200 ℃ → izbová teplota po dobu viac ako 100 cyklov bez praskania, čo spĺňa prísne požiadavky iónovej implantácie, rýchleho žíhania a ďalších procesov.

2. Presné obrábanie a povrchová úprava

Technológia leštenia v nanorozmeroch

Drsnosť povrchu je kontrolovaná na Ra ≤ 0.2 μm a chemicko-mechanické leštenie (CMP) v kombinácii s plazmovým leptaním sa používa na účinné zníženie adsorpcie častíc a čistota je v súlade s normou SEMI F47 (počet častíc ≤ 10 /[chránené e-mailom]μm).

Protivegetatívny náter (voliteľné)

Povrchový povlak z karbidu kremíka alebo nitridu kremíka je možné prispôsobiť tak, aby sa znížil koeficient trenia kontaktnej plochy doštičky (μ ≤ 0.05), čím sa znižuje riziko poškriabania a migrácie kovových iónov.

Rýchly detail:

1. Iné názvy: Kremeňová loďka, držiak na oblátky.

2. Použitie: Prenášanie a prenos polovodičových doštičiek pri vysokých teplotách, vhodné pre difúziu, oxidáciu a iné procesy.

3. Parametre jadra: čistota ≥99.99 %, maximálna teplotná odolnosť 1200 ℃, koeficient tepelnej rozťažnosti 5.5 × 10^-7/℃.

1. Spracovanie polovodičových doštičiek (difúzna pec, oxidačná pec).

2. Spracovanie kremíkových doštičiek vo fotovoltaickom priemysle.

3. Experimentálne ložisko s laboratórnym stupňom odolným voči vysokým teplotám.

Čistota na špičke v odvetví, obsah kovových nečistôt <1 ppm.

Dlhá životnosť (≥500 cyklov pri vysokých teplotách).

Podpora neštandardného prispôsobenia, krátky dodací cyklus.